编号：FTJS04399
篇名： 氢氧焰入射角对石英玻璃沉积效率的影响
作者： 徐彬； 顾真安；
关键词：化学气相沉积； 沉积效率； 石英玻璃；
机构：哈尔滨工业大学材料科学与工程学院； 中国建筑材料科学研究总院；
摘要： 为提高CVD合成石英玻璃的沉积效率,对不同氢氧焰入射角的工况进行了试验和数值模拟,比较并分析了沉积效率的变化规律和二氧化硅微粒的沉积机制.结果表明:数值模拟与试验测得的沉积效率基本吻合;近沉积面的速度分布决定了二氧化硅微粒的沉积分布,二氧化硅微粒沉积的主要机制为湍流沉积,热泳沉积起协助作用;氢氧焰入射角不同,近沉积面的速度分布和沉积面的高温区域均有明显差异,入射角过大或过小,都会造成二氧化硅微粒沉积位置和沉积面高温区的重合区域减小,降低沉积效率.入射角度为22°时,沉积效率最高(71%).