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单晶石英表面低损伤的摩擦诱导纳米加工研究
1368 2017-12-18
编号:FTJS06635
篇名: 单晶石英表面低损伤的摩擦诱导纳米加工研究
作者: 宋晨飞 ;钱林茂
关键词:纳米加工 纳米压印 基体材料 高分辨率 表面加工 接触压力 诱导方法 探针技术 加工点 透射电镜
机构:西南交通大学
摘要: 基于其优异的物理化学性质、良好的绝缘性以及高硬度高耐磨性,单晶石英广泛应用于光栅、纳米压印模板等高精密产品的基体材料。当前单晶石英的纳米加工技术面临着分辨率难以提升,过程复杂等技术瓶颈,而且石英表面加工损伤会显著影响石英器件的服役行为,因此,亟待研究提出高分辨率、简捷、低损伤的石英表面纳米加工方法。
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