中国粉体网讯  石英物理化学性能稳定、耐高温、耐腐蚀、透光和绝缘性好，是半导体制造过程中不可或缺的原材料。半导体行业对石英的纯度要求极高，在半导体生产过程中，无论是提拉法生产单晶硅，还是清洗单晶硅和印制集成电路，都需要用到高纯石英砂、硅微粉、多晶硅、石英坩埚和石英玻璃等。可见，半导体的原料和生产过程都离不开高纯石英及其制品。2021年，半导体石英制品占据石英市场的68%，半导体是石英制品下游市场中占比最大的应用领域。

来源：菲利华官网

石英制品：半导体行业的重要基材

随着我国半导体技术的发展，石英制品作为半导体关键材料，其重要性不断凸显，是国家战略性产业和支柱性产业发展中不可替代的高纯基础材料。

石英材料及其制品在半导体产业链中的应用

来源：东亚前海证券

石英制品属于半导体工艺中的关键耗材。用于半导体的石英玻璃制品具有高纯度、无污染、耐高温等优良特性，其应用贯穿半导体产业链的各个环节。总体来看，石英制品可用于扩散、氧化、沉积、光刻、蚀刻、清洗环节等关键过程。从产品结构来看，半导体石英器件、半导体石英基板、半导体石英玻璃（含坩埚）是石英制品在半导体领域的主要产品，三类产品的全球市场规模大致按4/3/3的占比分布。

石英玻璃材料及制品在不同工艺环节中的应用

来源：普华有策、东亚前海证券

具体来看，单晶生长需要用到石英坩埚和石英器件。晶圆加工环节，刻蚀、扩散、氧化、退火等步骤中需要用到大量的辅材石英制品，如石英片、石英环、石英舟等高纯度石英制品。石英玻璃贯穿半导体制造的关键环节。石英材料和制品行业位于半导体产业链的中上游环节，半导体制程中，扩散、氧化、沉积、蚀刻工艺用到石英法兰、石英扩散管、石英钟罩等石英制品，石英锭、石英管等是上述石英制品的基材；合成石英锭是平板显示技术中关键部件光掩膜基板的主基材。

国内半导体石英发展的不足

近几年，我国石英制品的发展速度有所提升。但国外石英加工技术领先于国内，并对国内石英行业进行技术封锁，我国高端石英制品制造技术仍受制于人，半导体石英的发展存在着许多不足。

原材料石英砂供应高度垄断

从市场情况看，国内高纯石英砂呈现高度垄断的态势。在上游石英砂产业中，高纯石英砂生产与高品质矿源密切相关，低品质矿源提纯较为困难，需要发掘优质矿源，或实现提纯工艺的突破。

石英制品国产化率低

目前国内石英制品主流供应商大部分为外资企业，占据着国内半导体高端石英市场的主要份额。国内石英制品的加工能力相比国际领先水平还有一定的差距，主要表现为材料纯度水平不高、产品质量不够稳定、先进产品不具备自主生产技术等。

进入设备厂商认证环节难

因设备厂商需求的高度定制化，石英制品是高度客户导向性产业。打入石英制品原装市场，最重要的就是获得设备厂商的认证。与晶圆生产类似，石英制品高度强调产品的精密性和稳定性，差之毫厘就会造成重大损失。因此，石英制品厂商想要打入设备厂商的供应链，必须要先迈过设备厂商的验证关卡，这对石英制品厂商的工艺水平、管理水平都是极大的挑战。

国产石英制品利润率较低

半导体石英制品的验证难，使得国内石英制品厂商的产品大部分用于光伏领域，用于半导体制造的高端产品比重较低。相比于半导体石英制品，光伏石英制品的附加值低，这也导致国产石英制品整体的利润率低于海外市场。

半导体石英的市场规模

随着半导体景气周期带来的全球晶圆厂规模扩张，与之对应的石英市场也预期保持同比例的增长。石英玻璃制品在半导体生产线中属于硬性消耗品，且随着晶圆尺寸的增加，在半导体生产线中使用的石英玻璃制品的种类和数量相应增加。2021年全球半导体芯片销售额为5559亿美元，按石英制品规模与半导体销售为规模的比例约为6.6：1000估算，则2021年全球半导体石英制品市场规模约为 240亿元，按半导体芯片领域市场份额65%测算，2021年全球石英制品行业规模约为369.25亿元。其中，美国市场占比47%，中国市场约占全球半导体销售额的1/3，因此国内石英制品2021年的市场需求约为123.08亿元。

国内主要半导体石英厂商

菲利华

湖北菲利华石英玻璃股份有限公司现为国内外具有较大影响力和规模优势的石英材料及石英纤维制造企业。公司立足石英玻璃材料领域，同时不断向上游石英砂和下游石英制品领域延伸，下游主要覆盖半导体、航空航天、光通信、光学四大应用领域。

气熔石英方面，公司已经通过三大半导体设备商认证；电熔石英材料已研发成功送样客户并得到认可，上海石创的石英玻璃器件加工通过中微认证；合成石英方面，截至2022H1，公司10.5代TFT-LCD光掩膜基板已研发成功，具备量产能力。

2021年12月，公司子公司上海石创在湖北省荆州市荆州经济技术开发区投资建设半导体用高纯石英制品加工项目，有助于提升半导体石英器件加工制造领域的生产能力，扩大有效产能。

石英股份

江苏太平洋石英股份有限公司是一家集科研、生产、销售为一体的高端石英材料深加工企业。经过三十年的创新发展，公司现已成为中国石英材料行业中的标杆企业。主导产品有高纯石英砂、石英管（棒）、大口径石英扩散管、石英筒、石英锭、石英板等及多种石英器件。半导体产品有半导体级石英管、半导体级石英棒、半导体级石英筒、半导体级石英锭、半导体级石英板、石英陶瓷圆坩埚、半导体级石英砂等。

石英股份连熔法生产的系列产品如石英大管、石英棒、石英大板、石英筒，均已通过半导体厂商认证，技术国际领先。公司加大推进电子级半导体石英产品的认证工作，在通过东京电子高温扩散领域认证后，又相继通过东京电子刻蚀领域和美国LAM刻蚀认证，美国应用材料认证也持续取得阶段性进展。2022年上半年半导体板块石英产品销售实现了快速增长，市场影响力逐步扩大。

凯德石英

凯德石英是一家有着二十多年历史的石英产品加工企业，经过多年的持续发展，目前已建立起一套成熟高效的研发和创新体系，技术水平处于国内领先级别。公司主营业务为石英仪器、石英管道、石英舟等石英玻璃制品的生产、研发和销售；公司产品作为下游企业的生产耗材，广泛应用于半导体集成电路芯片领域、光伏太阳能行业领域及其他领域。

凯德石英半导体用石英仪器

来源：凯德石英招股说明书、安信证券

凯德石英半导体用石英仪器

来源：凯德石英公开发行说明书、安信证券

公司半导体用石英制品，主要有石英舟、石英管道、石英仪器三个类别，具有高纯、耐高温、化学稳定性好的特点，主要应用的环节有氧化、扩散、化学气相沉积（CVD）、清洗、刻蚀。

参考来源：

王九一.高纯石英——二氧化硅中的大熊猫

颜玲亚.中国高纯石英资源开发利用现状及供需形势

芯谋研究.国内半导体石英制品市场发展情况

普华有策.石英材料制品行业产业链结构及细分市场应用情况

菲利华官网、凯德石英年度报告、石英股份年度报告、开源证券、安信证券、民生证券、东亚前海证券

（中国粉体网编辑整理/初末）

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