中国粉体网讯  石英玻璃材料及制品广泛应用于半导体芯片制程中，是半导体蚀刻、扩散、氧化等工序所需的承载器件与腔体耗材。其中高纯不透明石英玻璃是石英玻璃分类中的一个重要产品，是以石英砂、发泡剂、白炭黑等为原料按一定比例混合，加热成型，总杂质含量不大于30μg/g的不透明石英玻璃，其除在纯度、热学、耐化学侵蚀等方面具有普通石英玻璃突出的优异性能外，还具有独特的隔热性能。

20世纪90年代，日本信越、东曹，德国贺利氏等跨国企业已生产高纯不透明石英玻璃，并在之后长达二十多年一直处于垄断地位。近几年，国内石英玻璃生产企业通过技术攻关，掌握了生产工艺，产品质量稳步提升，已达国外产品水平。

菲利华不透明石英玻璃

湖北菲利华石英玻璃股份有限公司是我国石英玻璃龙头企业，公司主要从事高性能石英玻璃、石英纤维及复合材料的研发生产，主要服务于半导体、光通讯、光伏太阳能、高端光学及航空航天等高新技术领域。

据菲利华2023年年报，在石英玻璃材料及制品板块，公司研发成功了高纯电熔不透明石英、黑石英、低羟基和少羟基合成石英玻璃，成为先进半导体制程中的关键材料。

2024年3月，菲利华申请了《一种高纯不透明石英玻璃的制造方法》的专利，申请涉及一种高纯不透明石英玻璃的制造方法，属石英玻璃生产技术领域。该高纯不透明石英玻璃的制造方法通过调控石英砂的粒度能调节石英砂之间的孔隙的方式能有效调控成品中气孔的平均直径和丰度，从而有效控制成品的密度和遮光率，使得成品具有较长的使用寿命和良好的热阻断性。解决了现有生产方式不能控制气孔直径和丰度，导致成品的密度和遮光性低的问题。此种高纯不透明石英玻璃的制造方法主要包括以下步骤：

菲利华.一种高纯不透明石英玻璃的制造方法

（1）对石英砂破碎筛分获得石英砂细粒；

（2）向球磨机中加入石英砂细粒和去离子水进行湿磨获得浆料；

（3）去除浆料中的磨球，向浆料中加入乳酸，旋转均化至无明显沉降；

（4）将浆料注入模具中，脱水后脱模获得多孔的生坯；

（5）对生坯静置后，恒温干燥；

（6）对干燥的生坯烧结获得成品。

菲利华官网介绍了两种电熔不透明石英玻璃产品。

电熔不透明石英 FSTQZ®B

菲利华电熔不透明石英 FSTQZ®B

黑色石英玻璃材料同时具备高纯度、高光学吸收率、高发射率以及低热导率，因此可提高工艺环境的热均匀性，屏蔽过程中向外辐射热量，从而增加热管理的自由度。此外，较其他黑色陶瓷其加工性能更优。

电熔不透明石英 FSTQZ®B物理性能

电熔不透明石英 FSTQZ®W

菲利华电熔不透明石英 FSTQZ®W

电熔不透明石英玻璃拥有低透过率，高热反射率，可以有效地降低热损失，并能延长加热部件的寿命。该材料可以进行焊接、火抛光以及高精度光学抛光处理，拥有高密度，优异的机加光洁度，火抛后良好的光洁度，更长的使用寿命。适用于半导体热处理制程。

电熔不透明石英 FSTQZ®W物理性能

2024年11月21-22日，由中国粉体网主办的“2024（第八届）全国石英大会暨展览会”将在江苏徐州召开，湖北菲利华石英玻璃股份有限公司研发工程师胡世浩将做《电熔不透明石英玻璃在半导体领域的应用》的报告，届时，他将结合菲利华研发经验详细介绍半导体用电熔不透明石英玻璃的制备方法及性能要求。

参考来源：

刘焕敏.GB/T 42800-2023《高纯不透明石英玻璃》标准解读

中国专利公布公告.一种高纯不透明石英玻璃的制造方法

菲利华官网、年报

（中国粉体网编辑整理/初末）

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