中国粉体网讯  近日，连云港市生态环境局对江苏矽旺电子材料有限公司年产2000吨电子级超高纯石英晶体材料制造项目环境影响报告表项目作出批复。

项目总投资120000万元，新建原料处理系统、砣料沉积系统、砣料加工系统、检验系统、包装系统和仓储系统，建成后可达年产电子级超高纯石英晶体材料2000吨生产能力。项目产品分为合成石英晶体材料（600t/a）和天然石英晶体材料（1400t/a）两部分，均属于高纯石英晶体材料。

来源：美丽连云

CVD晶体

项目CVD晶体生产线采用高纯合成石英晶体材料主流工艺CVD法，是将原料SiCl4通过四氯化硅供应装置气化，以气态形式送入氢氧火焰喷灯，在氢氧焰中水解，生成SiO2微粒粉尘，然后经喷灯喷出，沉积于靶棒端部，经过多次沉积形成要求尺度的多孔粉尘预制棒，然后去掉靶棒，将多孔粉尘预制棒在高温下脱水、烧结成透明的实心玻璃锭，即为所需的石英晶体材料。

VAD晶体

项目VAD晶体生产线主要生产用原料为高纯石英砂，将高纯石英砂通过加料装置加入VAD石英打砣机中，经过氢氧焰高温作用下熔融流入熔炉炉腔，进行沉积堆溶作业，在沉积生长流动过程中，在不同的沉积高度上形成不同直径的同心圆熔融玻璃态圆柱体石英玻璃锭；高度每堆积生长到20mm~50mm时，开始自整形，石英火头和熔融玻璃态圆柱体石英玻璃锭一起以径向移动方式向熔炉炉腔内壁运动，使熔融玻璃态圆柱体石英玻璃锭最大直径处与炉腔内壁产生摩擦，产生形变，使产品外型尺寸在高度范围内达到上下等径要求，从而得到产品。

据了解，江苏矽旺电子材料有限公司位于连云经济开发区板桥工业园，主要从事电子专用材料、光学玻璃、电子元器件等研发及生产、销售。

高纯石英晶体是半导体、光伏、电子信息和高端电光源等生产必不可少的关键基础材料，也是芯片发展（晶圆制造与芯片封装等）不可或缺的关键材料之一，在电子信息、新材料和新能源等战略性新兴产业以及国防军工、国家安全中具有非常重要的作用和地位。

江苏矽旺电子CVD车间负责人介绍：“超高纯石英比起一般产品，在各个属性方面都有所提升，具有高纯度、高透光性、稳定性等一些特点，这些性能使得超高纯石英在一些光学应用、装备领域中占据了重要地位。”

矽旺电子公司董事长表示，石英晶体材料是光刻机等高精尖领域的核心材料，长期以来被国外企业垄断。矽旺电子的投产，将打破这一技术封锁，实现国产替代，为国家重点项目提供自主可控的关键材料。

参考来源：连云港市生态环境局、连云港日报、美丽连云

（中国粉体网编辑整理/初末）

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