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重大突破!辽宁这家石英制品企业获全球半导体设备龙头认证
1397 2025-07-24

中国粉体网讯  近日,辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司在12英寸半导体石英器件领域取得了重大突破,成功通过了全球半导体设备龙头国际电气株式会社(KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION,简称KE集团)的供应商资格认证。


来源:拓邦鸿基官微


据了解,高纯石英材料具有良好的透光性能、耐热性能、电学性能、电绝缘性及化学稳定性,可以应用于半导体、光纤、光学和光伏等领域。在半导体行业中,高纯石英主要用于制备石英坩埚和作为晶圆加工辅材。石英坩埚主要用于生长单晶硅,是半导体工业中不可或缺的容器;而在晶圆加工的刻蚀、扩散、氧化、退火等关键工序中,石英片、石英环、石英舟等高纯石英辅材同样发挥着不可替代的作用。


当前,国内半导体高端石英制品市场仍以外资企业为主导,本土企业在高端加工能力上与国际领先水平存在差距,国产化率相对较低。尤其是12英寸(300mm)高温区石英制品,因半导体设备厂和晶圆厂(FAB)设置的认证门槛极高,长期以来国产化率处于低位,而获得国际头部设备厂认证,正是突破这一困境的核心环节。


来源:拓邦鸿基官微


辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司成立于2017年5月,是国内高纯石英制品生产企业,主要从事半导体高纯石英制品的研发、生产和销售。凭借深厚的技术积累,公司已拥有50余项授权发明专利、软件著作权及实用新型专利,并先后荣获省科技型中小企业、省级专精特新小巨人企业、国家级高新技术企业、国家级专精特新小巨人企业等多项荣誉。


来源:东北新闻网


在产品布局上,拓邦鸿基构建了覆盖氧化、扩散、外延、刻蚀、清洗等全工序的完整产品体系。经过多年技术攻关,其产品质量与性能获得行业高度认可,已成功进入北方华创、长江存储、联电(UMC)、上海华虹等知名半导体企业的供应链。


作为全球十大半导体设备制造商之一,KE集团在炉管式ALD(原子层沉积)技术领域处于行业领先地位。该集团以沉积工艺和薄膜质量改进工艺为核心,其批量处理技术可一次完成数十片乃至更多晶圆的沉积,显著提升生产效率,在半导体制造诸多关键环节中占据重要地位。


此次通过KE集团认证,不仅印证了拓邦鸿基的产品在纯度、加工精度等关键指标上已达到国际先进水平,更为其拓展全球市场铺平了道路。这一突破既是企业发展的里程碑,更标志着中国本土企业在半导体核心零部件领域的全球竞争力实现显著跃升,为行业国产化进程注入强劲动力。


参考来源:拓邦鸿基官微、辽宁日报、东北新闻网


(中国粉体网编辑整理/初末)

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