中国粉体网讯  光掩模技术作为半导体技术中的重要组成部分，其制作材料包含玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等，其中玻璃基板为主要的原材料。

玻璃基板多使用石英玻璃基板和钠钙玻璃基板，石英玻璃基板的主体为石英玻璃，其光学透过率高，热膨胀率低，光谱特性优良，相比钠钙玻璃具有更高的硬度和更长的使用寿命，适用于高精度光掩模基板的制造。因此，石英玻璃在光掩模基板的材料选择中更具备优势，且市场需求逐年递增。

随着对光掩模石英玻璃基板的材料性质和加工精度要求越来越高，其制备的工艺要求也越来越严苛。石英玻璃基板的主要工艺包括石英锭熔制、热加工和冷加工等，每道工序都有严格的规范要求。

以化学气相沉积法（CVD）为例，合成石英的制造是以SiCl₄作为原料，在氢氧焰中高温水解或氧化生成SiO₂微粒，沉积熔化形成透明的高纯石英锭。根据光掩模石英玻璃基板的规格将石英锭割成相应尺寸的石英块，通过热加工方式形成石英板。经过一系列的冷加工如切割、开方、倒角、磨抛等工艺的石英板最终形成光掩模石英玻璃基板。

光掩模石英玻璃基板的制造

目前，光掩模基板主要依赖进口，美国康宁、德国贺利氏和日本信越等公司几乎垄断了产业需求供给。国内有数家企业有能力生产，但制备技术和加工技术方面较落后，产品应用也多是中低端市场，不能规模化、持续稳定提供高端产品。面对巨大的国内市场，众多厂家开始光掩模石英玻璃基板的研制，对相关的制造工艺进行摸索与改良。

其中，南通晶体有限公司以服务实现两个“两个一百年目标”为根本遵循，以提升合成石英性能为核心，深耕合成石英气相沉积技术，着力解决制约合成石英关键技术突破和国产化自主可控问题，加快我国高性能合成石英产业的高质量发展，助力光掩模行业实现历史性跨越。

2025年4月23-24日，由中国粉体网、中粉会展主办的“2025全国半导体行业用高纯石英材料产业发展大会”将在江苏南京召开，届时来自南通晶体有限公司的钱宜刚总经理，将做题为《光掩模用石英材料研发进展》的报告。

专家简介

钱宜刚，中共党员，博士，高级工程师，南通晶体有限公司总经理。特种玻璃技术委员会委员，中国光学工程学会、通信学会高级会员、中国电子学会会员。
    

从事VAD法熔石英制备技术研究16年，主持实施了国家工业强基工程、发改委产业振兴和技改专项、江苏省战兴专项、江苏省重大科技成果转化项目等10多项研发项目，研究开发多项填补国内空白的产品和技术，获省部级科技进步奖5项，获授权发明专利21件，授权实用新型专利15件，其中获中国专利优秀奖1项。参编国家标准2项、行业标准2项，发表论文20余篇。

参考来源：

陈娅丽等：光掩模石英玻璃基板的制造工艺概述

（中国粉体网编辑整理/平安）

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