中国粉体网讯  近日，江苏太平洋石英股份有限公司在投资者互动平台表示，公司的炉管系列产品，已通过国内一家头部DRAM制造商的认证，可用于300毫米晶圆生产。

DRAM存储芯片制造对工艺稳定性与杂质控制有着极为严苛的要求，300毫米大尺寸晶圆单批次生产成本高昂。炉管作为晶圆氧化、扩散、LPCVD等高温热处理工序的核心载体，微量杂质析出都有可能造成晶圆良率大幅下滑，整套认证流程周期长、验证条件苛刻，能够通过头部存储厂商认证，是国产石英耗材在半导体核心制程中迈出的关键一步。

此次认证最核心的的意义，在此之前，石英股份的半导体石英产品矩阵已实现对外批量供货，LPCVD扩散管、晶舟、石英锭等产品持续供应泛林集团、东京电子等国际头部半导体设备厂商，产品纯度可达4N5至5N级，长期跟随海外设备大厂完成配套准入，为本次切入本土DRAM晶圆厂打下了扎实的产品与验证基础。

图源：石英股份

本次DRAM厂商认证落地，也标志着从石英砂提纯、炉管加工到供应晶圆厂的完整链条已基本实现国产化。回溯技术攻关历程，太平洋石英自2009年起与南京大学团队合作，历经6年攻关，将超纯石英砂纯度做到99.999%，填补了国内空白，摆脱了该等级高纯石英砂原料完全依赖进口的局面。

在看到阶段性成果的同时，也需要理性认清国内高纯石英产业尚存的关键差距。本次获得认证的炉管产品，应用于硅片成型之后的晶圆制造环节；而半导体单晶硅锭拉制所用的石英坩埚，处于更上游的硅片生产环节，技术门槛更高。石英坩埚直接接触熔融硅液，对原料纯度、耐高温抗侵蚀能力要求更为严苛，不仅纯度需要达到5N以上，各类关键杂质指标的限制标准也远高于晶圆制程炉管。

高纯石英在半导体领域的应用

当前，高端半导体拉晶用石英砂的大规模供应市场仍高度集中。美国北卡罗来纳州Spruce Pine矿区的Sibelco与The Quartz Corp两家企业，依托独特的天然矿源禀赋与长期沉淀的提纯工艺，合计掌控全球超90%的高端石英砂市场，形成资源与技术双重壁垒。

业内分析指出，现阶段石英股份尚不具备生产适配9N至11N超高纯度硅片生长所需高规格石英坩埚的能力。国产高纯石英的突破呈现明显的阶梯式特征，遵循“先制程耗材、再上游坩埚，先成熟存储工艺、再进阶先进制程”的替代节奏。晶圆炉管的认证落地补齐了存储热工艺耗材供应链的重要拼图，但在石英坩埚这一更上游的关键环节，国内半导体材料产业仍需要持续投入研发，静待技术与产业化的进一步突破。

参考来源：

投资者互动平台；石英股份官网及年报；锐芯闻；东方财富网

陈堰梅等.超高纯石英人工制备技术与应用现状

（中国粉体网编辑整理/九思）

注：图片非商业用途，存在侵权告知删除！