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2026-05-06
中国粉体网讯 2026年4月17日,由中国粉体网主办的“2026第四届集成电路及光伏用高纯石英材料产业发展大会”在江苏东海县嘉臣国际大酒店成功召开。
会议期间,中国粉体网记者有幸邀请到多位专家、企业界代表做客我们的“对话”栏目,就行业研究热点、行业发展前景等方面进行了访谈。本期为您分享的是对中建材衢州金格兰石英有限公司教授级高工花宁的专访。

中建材衢州金格兰石英有限公司教授级高工花宁
中国粉体网:花总您好!感谢您接受这次专访。首先请您介绍,高纯不透明石英玻璃是什么?它和普通透明石英玻璃、传统不透明石英材料有何核心区别?
花总:高纯不透明石英玻璃是一种以高纯度石英砂为原料,经过特殊工艺处理,形成内部含有大量微小气泡的石英玻璃,既保留了石英玻璃的高纯度、耐高温、低膨胀等特性,又通过内部结构实现了不透明的外观;与普通透明石英玻璃相比,高纯不透明石英玻璃内部含有大量小气泡,外观呈白色,在高温下阻隔红外辐射,具有优异的耐高温性和隔热性;与传统不透明石英材料相比,高纯不透明石英玻璃纯度更高,内部结构均匀,具有更好的机械强度和抗热震性。
在工艺和应用方面,高纯不透明石英玻璃需要采用先进的制备工艺,主要应用于高端工业领域,如半导体制造、光伏产业、航空航天等。
中国粉体网:高纯不透明石英玻璃在半导体、光伏产业链里,到底起什么关键作用?为什么不可替代?
花总:在半导体行业里,高纯不透明石英玻璃被加工成石英炉管、石英舟、扩散管等部件用于芯片制造的高温环节(如扩散、退火、氧化等),其核心作用除了低膨胀系数确保高温不变形、高纯度避免高温下杂质污染晶圆外,独特的微气泡结构有效减少热量散失,提高加热效率并延长设备寿命。另外,在光刻环节,高纯不透明石英玻璃可被加工成光学元件防护罩,利用其深紫外波段的低透过性减少杂光干扰,提升光刻精度。
在光伏产业链中,不透明石英玻璃可做为承载器、反应腔部件用于光伏电池片的扩散、镀膜等制程中,具有优异的耐腐蚀性和尺寸稳定性。
高纯不透明石英玻璃应同时具备高纯度、低热膨胀系数、耐高温性、化学稳定性等特性,具有极端性能的综合适配性,在产业链中不可替代。
中国粉体网:从技术角度,高纯不透明石英玻璃的制造难点到底在哪?金格兰攻克了哪些核心技术?
花总:首先,在纯度方面,除了优选高纯石英砂原料外,整条工艺设备等亦需要优选;其次,在结构方面,要控制微气泡的尺寸及分布均匀性,气泡尺寸需控制在1-100μm之间,过大或过小都会影响热辐射散射效果,气泡分布必须均匀,任何局部的密度差异都会导致热传导不均,在高温应用中产生应力集中甚至破裂;批量生产中,熔制设备及熔制工艺的稳定性决定了产品的性能一致性。
中国粉体网:过去高纯不透明石英玻璃长期被日德垄断,金格兰如何实现国产化替代?目前技术与国际水平相比如何?
花总:通过设计自有熔制装备,不断优化工艺,形成“客户应用-反馈优化”的迭代机制,最终实现国产化替代。目前产品指标:杂质元素含量:有小于1ppm、小于10ppm、小于20ppm三种级别产品;密度:1.95g/cm3≤ρ≤2.10g/cm3;光谱透射比:380nm~3000nm波长范围内的光谱透射比小于1%,达到国际水平。
中国粉体网:当前半导体、光伏快速迭代,对高纯不透明石英玻璃提出哪些新需求?金格兰未来技术方向是什么?
花总:高纯不透明石英玻璃的纯度需要进一步提高,Fe、Al、Na等有害金属含量更低,避免高温下杂质扩散污染晶圆;实现更均匀的热膨胀系数分布,确保在1200℃以上高温下保持尺寸稳定性;通过优化内部气泡结构,实现更精准的热辐射管控,提升热场均匀性。金格兰技术方向:纯度方面:金属杂质含量小于1ppm;微气泡方面:气泡孔径更小更均匀,减少内质缺陷,但对隔热和耐温性不造成大的影响,从而具有更好的可加工性。
(中国粉体网编辑整理/九思)
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